Одним из основных направлений работы нашей компаний является производство подложек арсенида галлия и других полупроводниковых материалов группы A³B⁵.

Предприятие обладает комплексом оборудования, построенном на использовании хорошо зарекомендовавших себя шлифовально-полировальных станках «SpeedFAM» (Япония-США). В производстве используются расходные материалы только ведущих мировых производителей, таких как суспензии Nalco производства Eminess (США) и полировальные круги CIEGAL производства CHIYODA (Япония).

В настоящее время мы можем предложить подложки следующих полупроводниковых материалов:

• подложки арсенида галлия GaAs (LEC и VGF)  - ЭТО ОСНОВНОЙ ТИП НАШЕЙ ПРОДУКЦИИ

• подложки фосфида галлия GaP

• подложки арсенида индия InAs, антимонида индия InSb и антимонида галлия GaSb

Резка кристаллов производится на станках проволочной резки производства  Takatori/GTI Corporation (Япония), что дает возможность уже после резки получать пластины с минимальным нарушенным слоем и хорошими параметрами по геометрии пластины.

Обработка кромки и снятие фаски на подложках производится на уникальном станке обработки фаски «СОФ-76M», изготовленном по нашему заказу. Качество обработки и точность задания диаметра конечной подложки соответствует мировым стандартам. 

Обработка кромки подложек с формирование фаски проводится алмазными дисками производства компании Nifec (США).  Диски производятся на заказ и для собственной производственной программы мы закупаем определенную номенклатуру такого инструмента, предназначенную для обработки пластин разной толщины. Имеющиеся позиции мы можем предложить поштучно, что является уникальным предложением в России.

В настоящее время есть в наличии диски Nifec следующих типоразмеров:

Наименование	Размер алмазного зерна, US mesh	Получаемый радиус кромки подложки, мм	Толщина обрабатываемых подложек, мкм
EG50-8-20-800	800	0,11	200÷300
EG50-14-20-800	800	0,18	350÷450
EG50-20-20-800	800	0,25	500÷600
EG50-30-20-600	600	0,38	800÷1000

Для получения более подробной информации просим связываться по нашим контактным телефонам или почте